真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
1、粗抽泵
粗抽泵是指从大气压开端低落真空体系压强到达另一抽气体系能够开端事情的真空泵。
2、前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高答应的前级压强以下的真空泵。
3、在体系中做主泵
所谓主泵便是对真空体系被抽容器间接停止抽真空,以取得餍足工艺请求所需真空度的真空泵。
4、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指从大气开端,低落被抽容器的压强后事情在低真空或粗真空压强范畴内的真空泵。
5、高真空泵
高真空泵是指在高真空范畴事情的真空泵。
6、维持泵
维持泵是指认真空体系抽气很小时,不可以有用的应用重要前级泵。为此,在真空体系中另配一种抽气速率较小的帮助前级泵来维持主泵的正常事情或维持已抽闲的容器所需的高压的真空泵。
7、增压泵
增压泵平日指事情在低真空泵和高真空泵之间,用以进步抽气体系在中心压强范畴的抽宇量或低落前级泵抽气速度请求的真空泵。
8、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范畴事情的真空泵。