按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
1. 物理法
使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空,是一种捕集真空装置;吸气剂泵则是利用吸气剂(一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在)捕获气体,进行抽真空;吸气剂离子泵将气体电离,再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的,从而实现抽气,又分为两种,一种是蒸发离子泵,被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附,另外一种是溅射离子泵,被电离的离子,被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上,实现吸气。
2. 机械法