螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
由两个串联的螺杆轴组成,一个为主动螺杆轴,一个为被动螺杆轴,当主动螺杆轴转动时,被动螺杆轴跟随旋转,在两个螺杆轴的螺纹间形成一系列密封工作室,当螺杆轴转动时,工作室从入口端逐渐缩小,从而使气体被不断压缩和排出,实现真空状态。
螺杆真空泵广泛应用于多个行业,包括但不限于:
电子工业:用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程等。
核工业:用于核反应堆及核工业真空获得。
化工工业:用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物等。
医药工业:用于回收药液及药物中间体,回收气体消毒剂等。
食品工业:用于香料、香精浓缩,食品包装等。